欧姆龙开发燃料电池用MEMS流量传感器形

　　欧姆龙于2011年1月14日发布了可测量燃料电池气体流量的新款MEMS流量传感器“形D6F-70”（图1）。此前产品可测量的最大流量为50升/分，而此次的产品提高至70升/分。2011年1月25日开始上市。201 年度的销售目标约为20万个。

　　该产品设想用于家用燃料电池系统空气极的流量控制。该用途“需要具有70升/分的检测性能”（欧姆龙），因此对原产品作了改进。“通过改进内部流路的构造而实现”（该公司）。配备的MEMS流量传感器元件与原产品相同，尺寸为1.55mm×1.55mm×0.4mm。形D6F-70的外形尺寸为84.6mm× 2mm× 0mm。

　　欧姆龙计划2012年度上市可测量的最大流量为200升/分的产品。该产品将用于商用燃料电池系统等。