昭和电工强化高纯度三氯化硼产能化工机械网

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　　昭和电工2月4日宣布，将提高高纯度三氯化硼(BCl )的产能。该公司决定扩建川崎事务所的设备，计划使新设备从2016年 月开始投入使用。这样，该公司高纯度BCl 的产能将达到原来的1.5倍。

　　高纯度BCl 是在液晶面板及硅半导体制造工艺中用于蚀刻铝布线的特殊气体。由于近年来相关厂商纷纷向使用铝布线的有机EL面板及低温多晶硅液晶面板投资，预计今后将产生稳定的需求，因此昭和电工决定强化设备。