我国超精密光学零件加工技术实现纳米级突破

　　今天从国防科技大学获悉，由该校机电工程与自动化学院自主研制的新一代超精密光学零件加工设备，日前通过相干单位组织的工艺考核。考核结果表明，该套装备加工精度实现亚纳米级重大突破，标志我国超精密光学零件加工技术跨入世界领先行列。

　　超精密加工技术是先进设备制造的关键技术，纳米精度被誉为超精密加工技术“皇冠上的明珠”。过去，由于我国光学零件加工技术落后，无法进行大口径、高精度、复杂面形的光学零件加工，严重制约相干领域的技术进步。20世纪80年代以来，该校精密工程创新团队在李圣怡教授率领下，经过 0多年顽强拼搏与自主创新，前后突破高精度机床精密运动机构设计、光学元件亚纳米全频段误差控制等核心关键技术，研制出一系列具有自主知识产权的磁流变、离子束抛光设备，打破了发达国家对超精密加工装备的技术封锁，使我国成为继美、德之后全面掌握高精度光学零件加工技术的国家。

　　近年来，该校精密工程创新团队在“极大规模集成电路制造设备与成套工艺”国家重大科技专项2期项目和国家自然科学基金重大项目支持下，研制成功新一代离子束抛光机床与数控光顺抛光机床，其最小可控材料去除量达到0.1纳米。有关专家指出，这1自主创新成果可为“极大规模集成电路制造设备与成套工艺”“高分辨率对地观测系统”等国家重大科技专项提供有力技术保障和装备支撑，将直接促进相干领域关键技术突破，对提升我国先进设备制造水平具有重要意义。