2018年度军转民目录发布多项仪器仪表技

　　】为促进优秀技术成果转化落地，近日，工业和信息化部办公厅和国防科工局综合司印发了《军用技术转民用推广目录(2018年度)》的通知。其中，多项技术入选。

　　国防科技工业是军民融会发展的重点领域，是实施军民融会发展战略的重要组成部分，对提升中国特色先进国防科技工业水平、支撑国防军队建设、推动科学技术进步、服务经济社会发展具有重要意义。

　　当前和今后一个时期是军民融合发展的战略机遇期，也是军民融合由初步融会向深度融会过渡、进而实现逾越发展的关键期，国防科技工业领域军民融会潜力巨大。

　　为贯彻落实《国务院办公厅关于推动国防科技工业军民融合深度发展的意见》，围绕先进材料、智能制造、高端装备、新一代信息技术、新能源与环保、应急救援及公共安全等6个技术领域，工业和信息化部、国防科工局征集遴选出150项 军转民 技术成果。其中，涉及仪器仪表技术的有高精度硅谐振、电场探测先进传感器技术、高灵敏度手持式拉曼光谱探测仪等。

　　高精度硅谐振压力传感器

　　新一代信息技术

　　中国科学院电子学研究所

　　高精度压力传感器采用先进的换能机制，利用单晶硅的良好机械特性，将压力的作用应力转化机械部件的固有频率，并输出。传感器具有低迟滞误差、重复性好，长时间稳定性好等优点。

　　(1)采用基于双谐振器的原位温度自补偿技术，有效解决传感器温度漂移问题，实现了全温区0.01%fs精度等级；

　　(2)采取全温区稳幅闭环控制技术，有效下降传感器非线性误差，结合温度自补偿技术，有效拓展了传感器温区和提升了宽温区精度；

　　( )传感器采用圆片级的真空封装技术，保证了传感器的综合性能，有效抑制传感器的时间漂移问题。

　　项目已研制出应用于军用航空大气数据系统传感器prs2511/2512和rps5611、工业校准领域传感器rps251 、和民用大气压力传感器merpt-m1等系列产品。产品综合精度优于0.02% fs，年漂移低于100 ppm，可靠性指标优于 0万小时。由李树深、刘明等院士专家组成的鉴定委员会认为：传感器整体性能处于国际先进水平，温度跟随性指标居国际领先。

　　(1)取得2017年中国电子学会技术发明二等奖；

　　(2)入选第十二届(2017年度)中国半导体创新产品与技术。

　　申请中国发明专利16项，14项获得授权。

　　(1)技术转让。在一定的期限与地域范围内，将高精度硅谐振压力传感器产品的制造权与营销权(不包括所有权)有偿转让给引进人。转让部分包括传感器的制造方法和技术的系统知识。

　　(2)许可使用。

　　采用普通许可的方式，被许可人在规定的时间和地域范围内使用在高精度硅谐振压力传感器许可使用合同中所约定的知识产权内容，同时保留在该地域范围内许可人自已使用该项知识产权以及再与第三方就该项知识产权签订许可证合同的权利。

　　或采取排他许可的方式，被许可方在规定的地域内独家实施高精度硅谐振压力传感器产品的知识产权，而不再许可第三方在该地域内实行其知识产权。

　　( )合作开发。与航空大气数据系统、工业控制领域和气象监测领域的主要供应商展开合作，共同开展高精度硅谐振压力传感器的工程化。

　　电场探测先进传感器技术

　　中国科学院电子学研究所

　　电场是重要基础电学参量，电场传感器运用广泛。本项目围绕国家重大需求，自主创新，历经十余年，突破了电场探测先进传感器核心技术瓶颈，获得重要创新成果。发明了基于mems(微机电系统)技术的创新性高性能电场传感器敏感结构，研制出国际最高分辨力的电场敏感芯片；发明了抗表面电荷积聚和离子流噪声干扰、环境适应性强的mems电场传感器敏感芯片封装方法与结构，研制出mems电场传感器系列新产品。研制的产品已应用于我国太原、西昌、酒泉、文昌卫星发射基地的安全发射条件保障系统，成功用于国内外卫星发射和重大航天发射任务中，为星箭发射提供了关键决策根据，在航天发射任务中发挥了重要作用。成果还应用于电、气象、石油石化、工业生产、国防以及科学研究等多个领域100余家单位，建立了广泛的合作关系，产品被美国、韩国等国外用户采购。制定了我国首个国家标准和国家军用标准各1项，建立企业标准5项。

　　经中国电子学会组织专家鉴定(鉴字[2015]第002号)，由8名院士和多名权威专家组成的鉴定委员会认为： 在国际上首次实现了微型电场传感器实际运用，显著提升了电场探测传感器技术和应用水平。微型电场传感器的整体技术到达国际领先水平。

　　电场探测范围：-50kv/m～50kv/m(根据要求可拓展)

　　电场分辨力：优于20v/m

　　测量精度：优于5%

　　传感器功耗：低于0.65w

　　(1)高性能：本项目研制的电场传感器电场分辨力优于20v/m，处于国际先进水平。

　　(2)微型化：基于mems技术的电场传感器敏感结构面积仅有2.5mm 2.5mm，特征尺寸微米量级，具有体积小、重量轻、空间分辨率高等优势。

　　( )低功耗：mems电场传感器敏感芯片及处理电路功耗低，可使用电池供电，保障外场长时间运行。

　　(4)运用范围广：mems电场传感器无机电易磨损部件、无裸露可动部件，在粉尘环境及易燃易爆场所都可使用，具有可靠性高、稳定性好等突出优点。

　　2015年度北京市科学技术奖一等奖；2014年度中国(国际)传感器创新大赛特等奖；2015年度 中国科学院科技成果在北京转化先进团队 科技成果转化奖一等奖。

　　(1)投资需求。寻求投资进行产业化推行，用于建立mems电场传感器专用封装测试线，实现批量化制造，产能到达100万只/年，资金需求2亿元，实行周期 年。

　　(2)合作开发。与电、石油石化、气象等运用方展开合作，共同展开基于mems电场传感器的电场探测装备的研发，增进相干装备的微小型化和升级换代。

　　( )技术服务。与各省市的气象部门合作建设包含地面及大气电场强度检测的气象站和气象观测，与国家电等企业合作开展电防雷研究及应用开发，建设配电故障检测的示范工程等。

　　高灵敏度手持式拉曼光谱探测仪

　　北京理工大学

　　经过近4年技术攻关，研发了一系列具有自主知识产权的软硬件技术与装备。研制的探测仪整机具有重量轻、便携性好等优点，能够快速完成爆炸物、胶体物资、毒品、有毒气体和粉末的探测，可广泛用于地铁、机场、国家机关等重要场所和重大活动的安检。

　　光谱探测，拉曼光学系统，安全检查

　　国内领先

　　批量生产、成熟运用阶段

　　2014年取得北京市教委中央在京高校重大科研成果转化项目的支持

　　合作开发

　　6592a便携式高精度光伏电池伏安特性测试仪

　　中国电子科技团体公司第四11研究所

　　6592a便携式高精度光伏电池伏安特性测试仪主要用于用于光伏电池在户外条件下的检测，可以满足特殊封装的小型光伏组件及开发阶段的新型高效电池的伏安特性测试，并提供电池的发电性能验证。测试仪主机采取了伏安特性曲线的特点形态扫描技术、电流回路的隔离型动态补偿电路设计技术、具有温度补偿功能的辐照度探头设计及校准技术等关键技术应用，解决了高效光伏电池在户外的测试准确度问题，并提供高可靠的辐照度测试和发电量测试功能。

　　a)电压测试准确度： 0.4%fs 0.05v(0v～1v档)； 0.4%fs(其他档最大偏差)。 0.2%fs(25℃典型条件)。

　　b) 电流测试准确度： 0.4%fs 0.02a(0a～2a档)； 0.4%fs(0a～8a，0a～20a，最大偏差)。 0.2%fs(0a～8a，0a～20a，25℃典型条件)。

　　c) 最大功率测试重复性： 0.5%读数 0.5w。

　　d) 转换标准stc条件最大功率测试准确度： .0%读数 1w。

　　e) 辐照度测试准确度： .0%(在1000w/m2测试点，25℃ 2℃)； 5.0%(0～1 00w)。

　　f) 温度测试准确度： 1℃。

　　1)连续测试功能，可根据设定的时间间隔对被测光伏阵列进行自动测试，并自动存储测试结果。

　　2)具备环境温度检测、电池板温度检测、太阳辐照度检测等环境监测功能。

　　)可测量参数： i-v曲线，p-v曲线，短路电流，开路电压，最大功率，最大功率点电压，最大功率点电流，填充因子，太阳电池温度，环境温度、辐照度。

　　国际先进 国内独家

　　小批量生产、工程应用阶段

　　光伏组件生产、电站建设、光伏材料研究。

　　无

　　授权发明专利2项，申请发明专利4项。

　　合作开发

　　小型化质谱分析仪

　　北京理工大学

　　质谱分析仪可以实现对未知样品化学组成成份的高灵敏度检测。目前商业化的仪器被广泛应用于制药产业，石油、化工产业，生物、化学等科研领域。但是目前的商业质谱仪器体积、功耗庞大(吨、千瓦、百万人民币级)，极大局限了其使用范围。本产品在国际上第一次实现连续大气压接口、小型化质谱仪。该仪器可以实现对气体、液体、固体样品的高灵敏度分析与检测，可实现车载或单人手提式设计。

　　分析速度快(0.2秒每一个样品)，分析灵敏度高(～1 ug/ml)，分析物种类与范围广(份子质量范围在200- 000 da的有机物、生物份子等，覆盖了从挥发性小份子到蛋白质的范围)，高稳定性(相对标准偏差rsd】2018年10月24日，第29届中国国际丈量控制与展览会在北京顺利开幕。展会的举办有力地推动了我国测量控制与仪器仪表科技与产业的发展，提升了我国仪器仪表行业制造业的整体实力，吸引了一大批仪器仪表企业进行同台竞技。

　　智能无线终端、、智能数显压力开关、数显压力控制器、数显电接点压力表、压力变送器 在现场，这些工艺精深的展品成为了全场的焦点，中国仪表也采访到了携带这些展品来参展的企业 上海铭控传感技术有限公司的总经理陈德龙先生。

　　上海铭控传感技术有限公司(以下简称：上海铭控)位于上海市青浦区白鹤镇，具有自建厂区5.5亩，厂房面积近4000平方，是一家立足自主研发创新、自主知识产权的高新技术企业。公司主要从事基于传感器的控制方案和物联整体解决方案的研发，以及智能数字仪表的设计和生产工作。在多年的发展过程中，上海铭控更是构成了核心技术和特点研发全面发展的先进理念。

　　力求核心技术

　　一路走来，可以说，上海铭控就像是勤勤恳恳的守道者。面对仪器仪表行业核心技术缺失的问题，上海铭控刚成立时就坚持自主研发创新、掌握自主知识产权并积极开拓传感器的行业化运用，在硬件和软件上都力求掌握核心技术。

　　同时，上海铭控积极与同济大学、上海交大、国防科大、杭州电子科技大学、中科院微系统所、中科院技术物理所、航天精密机械研究所等一大批知名院校研究所进行交流，深化以企业为中心的产学研合作模式，推动核心技术研发能力的不断提高。

　　经过发展，上海铭控成功研发出含金量非常高的md系列和mk系列产品，涵盖传感器、压力开关、测控系统和基于传感器的各类智能控制仪表。其中，公司生产的多个产品通过了ce认证、cpa认证、ex防爆认证等权威认证，还获得了多项国家发明专利和实用新型专利。

　　在全体铭控人的努力下，上海铭控年产数字化压力表、智能压力开关及控制器10余万只(2017年)，在北京、天津、上海、杭州、绍兴等多个城市具有多家代理商，同时将产品出口到美国、德国、葡萄牙、西班牙、沙特、波兰、韩国、东南亚等国家和地区。

　　针对不同行业开发各具特色的产品

　　在日前世界经济论坛评选出的全球九家最先进的工厂中，一个非常突出的特点就是工厂生产的特点化。针对目前仪器仪表行业的发展状态，上海铭控也立足于实际，针对不同行业开发出各具特色的产品，在展会上，陈总以公司自主研发的两款产品为例进行了介绍。

　　这一款md-271智能无线传感终端是一款将传感器探头与智能终端分体式设计的无线仪表，可以根据需要把探头替换成压力、液位、温湿度、水浸、振动、温度等多种探头来对这几方面进行测量。同时，终端还可以通过gprs/lora/lorawan/nb-iot进行无线传输，是一个独立的无线智能终端 ，面对镜头，陈总为我们详细介绍了这款灵活多变的仪表。

　　除这种一机多用的仪表以外， 上海铭控还针对某些具体的行业进行了产品的研发。近年来， 智慧 主题日趋受到各行各业的热捧。就 智慧消防 而言，通过部署智能终端，可以进一步提升消防动态监测与反应能力，延续提高消防安全水平，因此在消防领域，上海铭控也重磅推出了一款智能压力终端。

　　根据陈总介绍，消防智能无线数字压力终端是一款电池供电的低功耗/无线数字输出的数字压力表，内置高精度压力传感器，能够准确的实时显示压力，其特点是可选配gprs、lora-iot、nb-iot无线通讯协议，远程参数配置，低压报警，特别适合消防管道、消防泵房、石油化工等需要无人值守、远程监控安检等领域。

　　目前，这款消防智能无线数字压力终端已经批量应用在上海市消防水管监测系统中，成功对各消防水管和消防泵房及喷淋末端的水压进行收集，在大数据平台进行无线远程监控，也成为上海铭控的一个经典案例。

　　在依托了技术和产品不断发展的基础上，上海铭控也在售后服务上下了大工夫。在发展过程中，上海铭控始终重视产品的售后服务。当谈及到公司的售后时，陈总提到： 上海铭控已经在重庆设立了子公司，可以满足西南区域的需求，同时在多个地区成立了独立的服务售后部门，能够提供完善的一整套的服务。

　　以压力传感器为基础，凭借着 一根筋 的研发精神和灵活的特色研发方向，上海铭控已经在压力仪表领域取得了不俗的成就，未来，上海铭控仍然会加紧研发，推动产品的标准化和行业化，提升产品科技含量，同时也为用户提供更具创新性的产品。

　　】根据《国务院关于改进加强中央财政科研项目和资金管理的若干意见》、《国务院关于深化中央财政科技计划(专项、基金等)管理改革方案的通知》、《科技部、财政部关于印发;的通知》等文件要求，9月29日，科技部高技术研究发展中心对国家重点研发计划 重大科学仪器设备开发 重点专项的2018年度拟立项项目信息进行公示，公示时间为2018年9月29日至2018年10月 日。

　　根据公示清单，此次重点专项拟立项的2018年度项目共5 个，项目实行周期 年，中央财政经费共计51960. 6万元，单个项目最高1578万元，最低 95万元。

　　公示的清单显示，中电科有限公司、北京东方中科集成科技股份有限公司、山东东仪光电仪器有限公司、太原有限公司、重庆川仪自动化股份有限公司、上海伍丰科学仪器有限公司、北京卓立汉光仪器有限公司、合肥量子精密仪器有限公司、中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司、深圳市中图仪器股份有限公司、北京海光仪器有限公司、长沙开元仪器股份有限公司等仪器仪表企业的研制项目在列。

　　根据清单，此次 重大科学仪器设备开发 重点专项项目触及了宽光谱高灵敏电子倍增ccd成像探测器研发与产业化、太赫兹混频探测器研制与运用开发、高精度高空多参数监测传感器研发及运用、小型化高精度姿态传感器开发与应用、高精度微型硅谐振压力传感器工程化与产业化、微型风速风向传感器、高稳定宽量程电流传感器、高精度光声光谱检测仪等多个仪器仪表项目的研制及产业化。

　　国家重点研发计划 重大科学仪器设备开发 重点专项拟立项的2018年度项目公示清单序号项目编号项目名称单位名称项目负责人中央财政经费

　　（万元）项目实施周期

　　（年）12018yff微焦x射线菲涅耳透镜的批量化制备技术嘉兴科民电子设备技术有限公司卢维尔475 22018yffs波段高功率微波源的开发与应用北京真空电子科技有限公司张富治449 2018yff0109 00太赫兹倍频源研制及应用开发中电科仪器仪表有限公司贾定宏467 42018yff大口径高场超导磁体关键技术开发与应用北京东方中科集成科技股份有限公司戴银明462 52018yff高精度双曲面线性离子阱的研制与应用钢研纳克检测技术股份有限公司李明456 62018yff宽光谱高灵敏电子倍增ccd成像探测器研发与产业化山东东仪光电仪器有限公司杨洪447 72018yff太赫兹混频探测器研制与应用开发中电科仪器仪表有限公司张胜洲450 82018yffingaas单光子雪崩焦平面探测器研发与运用长春长光辰芯光电技术有限公司宋航445 92018yff非拼接式大面积低剂量闪烁体平板探测器上海奕瑞光电子科技股份有限公司方志强485 102018yff高分辨耐辐照硅探测器的研发与产业化应用四川艺精科技集团有限公司王小英428 112018yff高精度高空多参数监测传感器研发及运用华云升达（北京）气象科技有限公司王晓云4 7 122018yff小型化高精度姿态传感器开发与应用中电科技集团重庆声光电有限公司林日乐4 0 1 2018yff01010 00高分辨率多功能原子探针广州市本原纳米仪器有限公司杨晋玲448 142018yff高精度微型硅谐振压力传感器工程化与产业化太原航空仪表有限公司赵稔452 152018yff基于mems技术的阵列式微型声压传感器研制太原市华纳方盛科技有限公司任勇峰465 162018yff微型风速风向传感器北京凯盾环宇科技有限公司秦明428 172018yff高稳定宽量程电流传感器海宁嘉晨汽车电子技术有限公司钱正洪419 182018yff微型电场传感器北京中科飞龙传感技术有限公司彭春荣468 192018yff高速高精度二维扫描微镜的研制和运用西安知微传感技术有限公司乔大勇 95 202018yff紫外凸面光栅研发及应用长春国科医工科技发展有限公司李文昊472 212018yff宽谱段高分辨中阶梯光栅单色器的研制及应用浙江浙江大学中控信息技术有限公司赵鸿鸣470 222018yff微型集成扫描光栅微镜关键技术及产业化重庆川仪自动化股份有限公司温泉460 2 2018yff01011 00智能精密宽程流体输变系统研制及运用上海伍丰科学仪器有限公司柳和生482 242018yff高温快速反应分析转化器开发及应用河南驼人医疗器械集团有限公司曾玺4 1 252018yff长行程精密运动平台北京华卓精科科技股份有限公司郭松45 262018yff宽频带同轴步进衰减器研制及产业化开发青岛兴仪电子设备有限公司文春华452 272018yff多功能气相分子分析仪的开发及工程化应用上海安杰环保科技股份有限公司陈达150 .5 282018yff高精度光声光谱检测仪湖北方圆环保科技有限公司鲁平148 292018yff高灵敏紫外成像仪研制及应用开发保定市毅格通信自动化有限公司律方成1 59 02018yff高速激光共聚焦拉曼光谱成像仪研发及应用研究北京卓立汉光仪器有限公司邱丽荣1526 12018yff荧光数字基因扩增单分子检测仪西安天隆科技有限公司彭年才1575 22018yff可重构高通量智能络检测仪新华三技术有限公司杨坚1500 2018yff01012 00大型复杂结构件力学性能全域微磁无损检测仪钢铁研究总院何存富1470.5 42018yff高温高频材料力学性能原位测试仪器开发与运用中机实验装备股份有限公司赵宏伟1459 52018yff固态量子材料自旋信息测量仪的研制及运用开发合肥量子精密仪器有限公司王鹏飞1501 62018yff低场量子电阻测量仪北京航天河科技发展有限公司徐思伟1502 72018yff差分高能电子衍射仪中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司赵崇凌1408 82018yff钢材多通道非接触超声自动探伤仪的开发和运用奥瑞视（北京）科技有限公司郭大勇1465 92018yff水下超声、电磁、射线综合无损检测系统开发与运用中广核检测技术有限公司束国刚148 402018yff0101 000太赫兹三维层析成像仪西安北方光电科技防务有限公司陈麟1572 412018yff0101 100高精度三维罗纹综合测量仪的开发和运用深圳市中图仪器股份有限公司于冀平1578 422018yff0101 200微纳结构动态特性测试仪天地伟业技术有限公司薛超1448 4 2018yff0101 00机载地下矿产与水资源探测仪研制与产业化应用示范内蒙古灵奕高科技（团体）有限公司刘小军1492 442018yff0101 400自组海洋环境多参数测量仪北京海兰信数据科技股份有限公司周天1570. 6 452018yff0101 500高精度光纤深地地质结构成像探测仪开发和应用北京奥特维科技有限公司李兆利14 7 462018yff0101 600材料高温环境电磁特性测试仪青岛兴仪电子设备有限公司郭荣斌1520 472018yff0101 700空间电离层环境层析成像测量仪中电科（青岛）电波技术有限公司吴健1487 482018yff0101 800气液两相流参数测量仪开发及运用长沙湘计海盾科技有限公司孙文德1502 492018yff0101 900高精度光热电位分析仪开发及应用示范北京海光仪器有限公司李明章1410 502018yff高通量有机物主元素精密分析仪器的研制与运用长沙开元仪器股份有限公司周磊1 68 512018yff海洋物性参数监测仪航天长征火箭技术有限公司杜立彬1556 522018yff大型设施挠度非接触测量仪武汉中岩科技股份有限公司张东升1525 5 2018yff01014 00宽频带高性能电磁信息安全测试仪开发与应用中电科仪器仪表有限公司许建华15 4 (资料来源：科技部高技术研究发展中心)

　　】作为现代科技的前沿技术，被称为是现代信息技术的 3大支柱 之一，不论是目前正热门的物联技术，还是通信、农业、环保行业等等，都离不开传感器的支持。

　　在我国传感器行业的发展初期，由于起步较晚，在核心技术等方面与国外企业存在一定差距，这也导致了大量国内市场被国外技术产品所垄断。作为我国先进的传感器研发制造企业，麦克传感器股份有限公司(以下简称 麦克传感器 )自成立起，一直致力于国内等产品的研发制造，经过多年技术积累，麦克传感器成功研发to-8封装式压力传感器、mpm280压阻式压力传感器，打破国外公司的垄断格局，弥补了国内传感器行业的空白。

　　2018年9月 日，在第八届上海国际城镇与建筑给排水水处理展览会的现场，中国仪表采访到了麦克传感器销售副总监/高级经济师张蕾，为我们讲述公司一路走来的发展历程以及对未来的规划。

　　麦克传感器成立于199 年，25年来，公司始终专注于压力传感器的研究，目前产品包括压力传感器、压力变送器、电磁流量计、温度变送器以及物联应用产品等。凭借高质量、高稳定性的优势，麦克传感器在剧烈的市场竞争中脱颖而出，不但在国内市场中站稳脚根，更远销海外，享誉世界。

　　据张女士介绍，在2015年，公司进行了改制。由于受到经济新常态影响，实体经济企业容易受制于资金的限制。为了取得更长远的发展，实现公司上市计划，在2016年初，麦克传感器成功挂牌新三板。 目前公司每一年生产产值在两个亿左右，并且正在全国建设生产点、销售点、研发点等。 张女士表示，除此之外，针对当下热门的芯片技术，公司也正着手这方面的课题研究，并且取得了一定成效。

　　谈及公司的核心竞争力，张女士十分自豪： 我们公司不但仅是一个生产企业，更是一个集生产、研发、经营于一体的企业。因此我们的业务人员在市场上拼搏时，有着强劲的后备力量 一支专业、优秀的研发团队！ 在研发团队几十年来的不懈努力下，公司成为许多国家重点项目的首选供应商。公司自主研发的液位变送器更是在我国重大工程项目 三峡工程中得到运用，这不仅显示了麦克传感器强有力的综合竞争力，更展现了业界对企业综合实力的高度认可。

　　在我国现代经济社会快速发展的今天，地下水的重要性日益凸显。目前，我国已建成地下水监测站24417处，初步形成了全国地下水监测站。但是，在全国地下水检测站的建设中，受城市工业污水排放、生活污水污染源增多等因素影响，地下水检测工作仍存在不足。在此背景下，麦克传感器推出地下水井综合丈量系统。公司华东大区销售工程师杨健向现场观众介绍，公司推出的智能化地下水井综合丈量系统相较于传统测量系统，在安全性以及传输方便性等都有很大的提升。在这款产品中，安装有压力、液位、温度、流量、超声波等多种传感器，可以实现远程监控并传输图像、声音、视频等信息，实时将数据同步至终端电脑pc系统或者，为客户提供数据分析和决策依据。对现代城市来讲，该系统可以极大的提高丈量准确性及工作效率，更好地保障城市地下水质量安全，

　　优秀的技术研发能力是抢占市场的重要因素，而过硬的产品质量则是获得市场认可的关键。公司拥有严格的质量控制体系以及高效、精干的生产队伍，将质量监督贯穿设计、生产、物流、服务的整个过程。 我们生产队伍的员工都是学有专长的，并且大部分都是拥有电子专业背景的技术工人。同时，绝大多数的业务人员也是来自电子类、传感器和半导体类专业的技术人员，他们不仅仅是普通概念中的销售员，更担任了销售工程师的角色，能够帮助用户选型，为用户提供更专业、优良的服务。这正是我们队伍的宝贵之处！ 张女士向介绍到。另外，在经营管理方面，公司借助oa(办公自动化)系统、企业信息化系统等现代信息计算机的管理系统，并引进国外的先进思路、体系流程，真正实现以人为本、高效协作的管理方式。

　　凭借着完善的管理制度和强大的综合优势，麦克传感器已成为行业内公认的高品质、可信赖的传感器和监测系统解决方案提供商。在未来，麦克传感器也将继续坚持核心技术的研发与创新，与国际先进技术水平同步提高，助力中国市场建设具有国际竞争力的传感器产业体系，打造安全、高效的万物互联时代！

　　】创意无极限，仪表大发明。今天为大家介绍一项国家发明授权专利 gan件及其制作方法。该专利由成都海威华芯科技有限公司申请，并于2018年8月14日取得授权公告。

　　内容说明

　　本发明涉及半导体器件领域，特别是触及一种gan压力件及其制作方法。

　　发明背景

　　tan材料具有优良的压变特性，同时具有极高的高温稳定性(熔点在 000℃左右)、较低的电阻温度系数、优良的硬度和耐磨性，使用tan材料的压力传感器在飞机、高速火车、汽车、石油探测等领域有着广泛的应用潜力。gan材料作为宽禁带半导体的典型代表，具有工作温度高、功率输出密度大、高频性能好、抗辐射能力强等优点，gan hemt(高电子迁移率晶体管)器件是目前广泛使用的第三代半导体器件，成熟度高，实现工艺相对稳定。

　　因此，将tan压力传感器与gan hemt器件结合使用可以实现压力传感、信号放大和信号传输。但是，在实际应用中，tan压力传感器与gan hemt器件是分立的器件，这不利于器件集成和降低成本。

　　发明内容

　　本发明主要解决的技术问题是提供一种gan压力传感器件及其制作方法，能够实现极端环境下的压力探测。

　　本发明实行例gan压力传感器件的结构示意图

　　为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种gan压力传感器件，包括由下而上依次形成的衬底、aln缓冲层、gan过渡层、aln隔离层、alxga1-xn肖特基势垒层和gan帽层，所述gan过渡层与所述alxga1-xn肖特基势垒层构成二维电子气，所述二维电子气位于所述gan过渡层和所述aln隔离层之间，所述gan帽层设有隔离区，所述隔离区从所述gan帽层的上表面嵌入延伸至所述gan过渡层内部，所述隔离区在所述gan帽层上分隔出传感区域和器件区域，所述传感区域和器件区域均生长有具有张应力的钝化层，所述传感区域的钝化层表面沉积有tan传输线，所述器件区域的钝化层上形成有栅极、源极和漏极，所述漏极位于所述隔离区和所述源极之间，所述栅极位于所述源极和所述漏极之间，所述栅极、源极和漏极均穿过所述钝化层构成在所述gan帽层上。

　　优选地，所述栅极、源极和漏极均通过高温退火与所述gan帽层形成欧姆接触。所述tan传输线的形状为蛇形。所述衬底的材料为si、sic、gan、蓝宝石或diamond。所述aln缓冲层的厚度为nm。所述gan过渡层的厚度500- 000nm，所述gan过渡层的材料为n型gan，搀杂浓度小于或等于5 1017cm- 。所述aln隔离层的厚度为nm。alxga1-xn肖特基势垒层的厚度为nm，x的范围为0 . . ，搀杂浓度小于或等于1 1018cm- 。所述钝化层的材料为sinx或sio2，厚度为nm。

　　为解决上述技术问题，本发明采用的另一个技术方案是：提供一种根据上述任一种的gan压力传感器件的制作方法，包括以下步骤：在衬底上由下而上顺次形成aln缓冲层、gan过渡层、aln隔离层、alxga1-xn肖特基势垒层、gan帽层和钝化层，其中，所述gan过渡层与所述alxga1-xn肖特基势垒层形成二维电子气，所述二维电子气位于所述gan过渡层和所述aln隔离层之间；在所述钝化层进行刻蚀以露出所述gan帽层，并在刻蚀出的所述gan帽层处设置隔离区，其中，所述隔离区从所述gan帽层的上表面嵌入延伸至所述gan过渡层内部，所述隔离区在所述gan帽层上分隔出传感区域和器件区域；在所述传感区域的钝化层表面沉积tan传输线，并在所述器件区域的钝化层上形成栅极、源极和漏极，其中，所述漏极位于所述隔离区和所述源极之间，所述栅极位于所述源极和所述漏极之间，所述栅极、源极和漏极均穿过所述钝化层构成在所述gan帽层上。

　　区分于现有技术的情况，本发明的有益效果是：

　　1 .与传统的压力传感器相比，工作温度更高，可在极端环境下正常工作

　　2 .集成度高，有利于减小压力传感器系统体积和降低成本。

　　.tan传输线的电阻率可以通过调整tan传输线的沉积温度进行调理。

　　4 .传感器与接收器在功能上分离，可以有效减小体积，能够在不影响原有空气动力学、流体力学设计的基础上检测压变数据。

　　如需进一步了解，请下载该专利完整说明书。

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　　】压迫绷带通常用于向患者的肢体施加压力以改善血流量并使患者肢体的肿胀减轻。根据不同的条件需要施加不同大小的压力，但目前还没有一种可靠的方法可用于丈量压迫医治进程中需要施加的压力大小。日前，来自美国麻省理工学院的一个研究小组设计了一种仿生光学机械纤维，该纤维能够根据压力应变而改变颜色，并且能够用作紧缩绷带中的。

　　麻省理工学院研制的光电子仿生纤维的色彩取决于光线如何在其内部的周期性结构中发射，通过改变纤维的形状如对其进行拉伸，以可预测的方式调整光纤的颜色。该研究团队认为，其开发的可拉伸光学机械纤维将在今后成为紧缩绷带，这使得医疗服务提供商能够更容易地为病人的特定情况提供最佳压力。

　　光机械传感器的仿生设计

　　研究人员表示，目前自然界中发现的结构颜色不是用染料或颜料制成的，相反，结构色彩的起因是由于材料中纳米结构在不同波长下散射光的干涉造成的。干涉的光进入观察者眼中成为一种色彩的光，其色彩能够根据视角或响应材料形状的变化而发生改变。

　　麻省理工学院的研究团队将自然产生的结构色的应用于开发压力传感光机械纤维的设计。纤维由聚二甲基硅氧烷(pdms)和聚苯乙烯聚异戊二烯三嵌段聚合物(pspi)的两层薄而透明聚合物组成的周期性结构，在黑色聚二甲基硅氧烷纤芯周围堆叠 0～60次，其生成的纤维厚度约为人头发丝直径的10倍。其中由pdms/pspi堆叠而成的周期性结构充当布拉格反射器，能够强烈地反射窄波长范围内的可见光。

　　从周期性堆叠的光纤反射的光的颜色取决于每层的纳米结构。当纤维拉伸时，纤维层的周期数减小，这将纤维的色彩从红色(无应变)顺次改变成橙色、黄色、绿色、最后是蓝色(最大应变)。研究人员指出，有可能设计具有不同反射峰的纤维，以制成一种压力敏感纤维，随着应变压力的增加，其颜色从蓝色变为红色。

　　研究人员通过测量纤维光学机械性能的定量测试表明，该仿生纤维能够被拉伸到其初始长度的两倍以上，并且在经过10000次的拉伸循环后，该纤维依然产生一致且十分显眼的颜色。

　　光纤传感器的演示实验

　　为了演示压迫医治进程中的压力感应，麻省理工学院的研究人员沿着标准压缩绷带的长度缝合了一种可拉伸的光学机械纤维。他们还制作了一张图表，将纤维的颜色与绷带产生的压力量相匹配。

　　研究人员约请了12名未受过训练的学生志愿者被用于测试光电子仿生压迫绷带的有效性。他们为学生志愿者们提供了两种常用的压迫绷带系统，以及麻省理工学院的光电子压迫绷带及其制作的色彩图表。该演示的结果表明，使用光电子压迫绷带和彩色图表的学生比使用其他两种传统压迫绷带系统时更容易施加最好压力。

　　虽然这项初步研究的结果令人鼓舞，但研究人员表示，他们需要找到一种性价比更高的方式来生产其光电子纤维绷带，以使其适用于医用纺织品。

　　(原文标题：用于医疗纺织品的可变色光纤传感器)

　　 仪表】近日，工业和信息化部批准发布了《医用胶片打印机》等594项行业标准，涉及法、火焰原子吸收光谱法、压力传感器、转子流量计等多项仪器仪表标准。

　　工信部此次批准发布的594项行业标准，其中化工行业标准 项、石化行业标准10项、冶金行业标准11项、有色金属行业标准69项，建材行业标准47项、黄金行业标准1项、机械行业标准247项、汽车行业标准8项、航空行业标准1项、船舶行业标准7项、轻工行业标准66项、纺织行业标准48项、包装行业标准4项、民爆行业标准6项、电子行业标准24项、通讯行业标准12项。

　　以上化工行业产品标准由化工出版社出版，化工行业工程建设、汽车行业标准由科学技术文献出版社出版，石化行业标准由中国石化出版社出版，冶金、有色金属行业标准由冶金工业出版社出版，黄金、纺织及包装行业标准由中国标准出版社出版，建材行业标准由建材工业出版社出版，机械行业标准由机械工业出版社出版，轻工行业标准由中国轻工业出版社出版，航空行业标准由中国航空综合技术研究所组织出版，船舶行业标准由中国船舶工业综合技术研究所组织出版，民爆行业标准由中国兵器工业标准化研究所组织出版，电子行业标准由中国电子技术标准化研究院组织出版,通信行业标准由人民邮电出版社出版。

　　触及气相色谱法、火焰原子吸收光谱法、压力传感器、转子流量计等仪器仪表标准的部份中国仪表摘录如下。

　　序号标准编号标准名称标准主要内容代替标准采标情况实施日期1sh/t 工业用乙苯纯度及烃类杂质的测定 气相色谱法本标准规定了用气相色谱法测定工业用乙苯的纯度及烃类杂质含量。

　　本标准适用于纯度不低于99.0%(质量分数)的乙苯的测定，对非芳烃、苯、甲苯、对二甲苯、间二甲苯、邻二甲苯、异丙苯等杂质的检测范围为0.001%～1.000% (质量分数)，对二乙苯杂质的检测范围为大于0.000 % (质量分数)。sh/t sh/t 石油对二甲苯纯度及烃类杂质的测定 气相色谱法本标准规定了用气相色谱法测定石油对二甲苯的纯度及烃类杂质含量。

　　本标准适用于测定纯度不低于99.0%(质量分数)的石油对二甲苯，对非芳烃、苯、甲苯、乙苯、间二甲苯、邻二甲苯、异丙苯、对二乙苯等烃类杂质的检测限为0.001%(质量分数)。sh/t sh/t 161 .石油邻二甲苯 第2部分：纯度及烃类杂质的测定 气相色谱法本标准规定了用气相色谱法测定石油邻二甲苯的纯度及烃类杂质含量。

　　本标准适用于测定纯度不低于90.0%（质量分数）的石油邻二甲苯，本部份对于非芳烃、苯、甲苯、乙苯、间二甲苯、对二甲苯、异丙苯、正丙苯、苯乙烯、三甲苯、甲乙苯、对2乙苯等烃类杂质的检测范围为（0.001～ .5）% （质量分数）。sh/t 161 .sh/t 1766.石油间二甲苯 第2部份：纯度及烃类杂质的测定 气相色谱法本标准规定了用气相色谱法测定石油间二甲苯的纯度及其烃类杂质含量。

　　本标准适用于测定纯度不低于99.0%（质量分数）的石油间二甲苯，对非芳烃、苯、甲苯、乙苯、对二甲苯、邻二甲苯、正丙苯和异丙苯等烃类杂质的检测范围为（0.001～1.000）%（质量分数）。sh/t 1766.sh/t 羧基丁苯胶乳中残留苯乙烯含量的测定 毛细管柱气相色谱法本标准规定了采取毛细管柱气相色谱法测定羧基丁苯胶乳中残留苯乙烯含量的方法。

　　本标准适用于残留苯乙烯含量大于4.0?mg/kg羧基丁苯胶乳的测定。ys/t 1229.粗氢氧化镍化学分析方法 第2部份：钴量的测定 火焰原子吸收光谱法本部分规定了粗氢氧化镍中钴量的测定方法。

　　本部份适用于粗氢氧化镍中钴量的测定。测定范围：0.20%～6.00%。ys/t 1229. -2018粗氢氧化镍化学分析方法 第 部份：铜、钴、锰、钙、镁、锌、铁、铝、铅、砷和镉量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法本部份规定了粗氢氧化镍中铜、钴、锰、钙、镁、锌、铁、铝、铅、砷和镉量的测定方法。

　　本部分适用于粗氢氧化镍中铜、钴、锰、钙、镁、锌、铁、铝、铅、砷和镉量的测定。ys/t 746.无铅锡基焊料化学分析方法 第17部份：银、铜、铅、铋、锑、铁、砷、锌、铝、镉、镍、铟量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法本部分规定了无铅锡基焊料中银、铜、铅、铋、锑、铁、砷、锌、铝、镉、镍、铟含量的测定方法。

　　本部份适用于无铅锡基焊料中银、铜、铅、铋、锑、铁、砷、锌、铝、镉、镍、铟含量的测定。ys/t 12 0. -2018阳极铜化学分析方法 第 部份：锡、铁、砷、锑、铋、铅、锌、镍量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法本部份规定了阳极铜中锡、铁、砷、锑、铋、铅、锌、镍含量的测定方法。

　　本部分适用于阳极铜中锡、铁、砷、锑、铋、铅、锌、镍含量的测定。jb/t 1 硅谐振式压力传感器本标准规定了硅谐振式压力传感器的术语和定义、分类与命名、基本参数、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输及储存。

　　本标准适用于硅谐振式压力传感器。jb/t 1 红外线扫描测温仪本标准规定了红外线扫描测温仪的术语和定义、基本参数、性能要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等要求。

　　本标准适用于红外线扫描测温仪。jb/t 1 螺旋双转子流量计本标准规定了液体螺旋双转子流量计的术语和定义、基本参数、正常工作条件、技术要求、实验方法、检验规则、标志、包装与储存等要求。

　　本标准适用于由流量传感器与显示部份组成，能进行积累流量显示和（或）瞬时流量显示的计量液体介质的螺旋双转子流量计。 jb/t 压电式加速度传感器本标准规定了压电式加速度传感器的术语和定义、分类与命名、基本参数、要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输及储存。

　　本标准适用于以具有压电效应的材料为换能元件的振动、冲击传感器的设计、制造、使用和维修。

　　本标准不适用于内装电路和其它具有特殊要求的压电式加速度传感器。jb/t jb/t 压电式振动测量仪本标准规定了压电式振动测量仪的技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装及储存。

　　本标准适用于利用压电式加速度计测量振动加速度、速度和位移的测振仪。jb/t jb/t 空气热老化试验箱本标准规定了空气热老化试验箱的分类、使用条件、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和储存。

　　本标准适用于自然对流和强制对流的空气热老化试验箱。jb/t

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